首頁: 微機電系統/自動化控制系統整合、規劃、設計、施工

微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體製造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、矽微加工、非矽微加工和精密機械加工等技術製作的高科技電子機械器件。

微機電系統是集微感測器、微執行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、介面、通信等於一體的微型器件或系,廣泛應用於高新技術產業。

微機電系統是一個獨立的智慧系統,其系統尺寸在幾毫米乃至更小,其內部結構一般在微米甚至納米量級。常見的產品包括加速度計、麥克風、微馬達、微泵、微振子、光學感測器、壓力感測器、陀螺儀、濕度感測器、氣體感測器等等以及它們的集成產品。

機電系統民用領域是電子、醫學、工業、汽車和航空航太系統。

具有,微型化、智慧化、多功能、高集成度和適於大批量生產特點。

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